股民提问华微电子:公司此前获得发明专利授权“传片系统及光刻机”具体应用于光刻机什么部件?
来源:中国财富通 发布时间:2023-09-12 10:00:58


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9月11日,有投资者在股民留言板中向华微电子(600360)提问:据公司官网介绍,贵司于2021年4月6日获得发明专利授权“传片系统及光刻机”,请问该专利具体应用于光刻机什么部件?是否属于国产替代突破?

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