5月26日消息 据《数字时报》报道，台积电首席执行官表示，该公司7nm+ EUV已开始批量生产。这是台积电第一次、也是行业第一次量产EUV极紫外光刻技术。

今年2月，《数字时报》曾报道称，7nm批量生产将在3月底开始，目前来看，它已经被推迟了至少两个月。此前台积电并没有提到第一个7nm+ EUV产品是什么，但有消息说，华为的麒麟985也是基于7nm+ EUV的。相比一代7nm工艺，7nm+ EUV提升20%的晶体管密度，性能提升10%以上，功耗比第一代7nm低15%。

据悉台积电今年还将推出第二代7nm制程，明年将开始风险生产6nm制程。

台积电还表示，今年其7nm产能将比去年增长150%，而5nm的大规模生产将于2020年第一季度启动。位于台湾南部科技园的新工厂Fab 18已经开始设备搬迁与安装，将在明年投产时直接上马5nm，并为未来的3nm工艺做好准备。

关键词： 台积电 EUV已开始量产